高精度切片機USM系列
功能
加工性能上融合認業內好評和有多臺銷售業績的USM切片機的特質。
優秀的加工性能讓用戶更容易操作,同時適用于各種難以加工材料,機臺的安裝環境也比較容易實現。
超精密空氣靜壓軸承主軸

搭載本公司開發、制作的高剛性空氣靜壓軸承主軸。
采用同步馬達
*1),在實現高旋轉精度的同時,為使用刀片提供最佳主軸。
*1)采用感應馬達。
多刀片加工

采用高剛性空氣靜壓軸承主軸,可進行大負荷多刀片加工。
與單刀片加工相比,加工效率得已提升、壓倒性的提高生產率。

16片多枚刀片的加工示例(光通信用多層濾光片)

4片多枚刀安裝狀態
刀片徑?工件表面檢測機能

光電式刀片徑檢測裝置
提供高精度刀片直徑檢測和工作表面檢測裝置,對自動消除間隙和設置深度至關重要。

導電夾具表面檢測裝置

自動聚焦工件表面檢測裝置(專利申請中)
框架搬運裝置
采用搬運機械手用于支持全自動化
清潔裝置
標準配備平均粒徑10~50μm的油霧,可任意設定清洗序列
(機械臂旋轉速度等)
飛刀加工
通過金剛石車刀飛切加工,可以進行銅等軟金屬的薄膜加工
各種法蘭盤
對應多刀片法蘭盤、杯型砂輪等各種加工